déposition chimique en phase vapeur sous basse pression
- déposition chimique en phase vapeur sous basse pression
- mažaslėgis cheminis garinis nusodinimas
statusas T sritis radioelektronika
atitikmenys: angl. low-pressure chemical vapor deposition
vok. chemische Niederdruckabscheidung aus der Gasphase, f
rus. химическое осаждение из паровой фазы при низком давлении, n
pranc. déposition chimique en phase vapeur sous basse pression, f
Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“.
Kazimieras Gaivenis, Gytis Juška, Vidas Kalesinskas.
2000.
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